[发明专利]MEMS谐振器有效
| 申请号： | 201080016032.0 | 申请日： | 2010-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN102388533A | 公开（公告）日： | 2012-03-21 |
| 发明（设计）人： | 约普·M·博恩泰姆普斯;简·雅各布·康宁;卡斯·范德·阿沃尔特;约瑟夫·托马斯·马丁内斯·范贝克 | 申请（专利权）人： | NXP股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/007 | 分类号： | H03H3/007;H03H9/24;B81B3/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王波波 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种体声学模式MEMS谐振器，包括具有第一物理布图的第一部分以及布图修改特征。所述谐振频率是所述物理布图的函数，其设计为使得所述频率变化对于50nm谐振器形状边缘的边缘位置的偏差来说少于150ppm。这种设计按照以下方式结合了至少两个不同的布图特征，使得小的边缘位置变化(来自于不可控的工艺变化)对谐振频率的影响可以忽略。 | ||
| 搜索关键词： | mems 谐振器 | ||
【主权项】：
一种体声学模式MEMS谐振器，包括：谐振器本体，包括具有第一物理布图的第一部分；和布图修改特征，其中谐振频率是所述第一部分的物理布图和所述布图修改特征的物理布图的函数，以及其中所述物理布图设计为使得对于50nm的谐振器形状边缘的边缘位置变化来说，频率变化小于150ppm。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于NXP股份有限公司，未经NXP股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201080016032.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种碳基复合吸波材料的制备方法
- 下一篇：传感器装置和测量装置
