[发明专利]阻气膜以及电子器件有效

专利信息
申请号: 201080014715.2 申请日: 2010-03-17
公开(公告)号: CN102365169A 公开(公告)日: 2012-02-29
发明(设计)人: 星慎一;奥地茂人 申请(专利权)人: 琳得科株式会社
主分类号: B32B27/00 分类号: B32B27/00
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 张平元
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种阻气性及表面平滑性优异、且层间高度密合、在弯曲时也不易产生裂纹的阻气膜、以及具有该阻气膜的电子器件。本发明的阻气膜(10)具有:基体材料(11)、依次设置在所述基体材料(11)的至少一侧表面上的含有聚有机硅氧烷类化合物的层(12)及无机物层(13),其中,所述无机物层(13)是通过动态离子束混合法形成的。
搜索关键词: 阻气膜 以及 电子器件
【主权项】:
一种阻气膜,其具有:基体材料、含有聚有机硅氧烷类化合物的层以及无机物层,所述含有聚有机硅氧烷类化合物的层以及无机物层依次设置在所述基体材料的至少一侧表面上,其中,所述无机物层是通过动态离子束混合法成膜的。
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