[发明专利]阻气膜以及电子器件

说明书

技术领域

本发明涉及阻气膜、以及具有该阻气膜的电子器件。

本申请主张基于2009年3月31日在日本提出的日本特愿2009-083871 号的优先权，在此援引其内容。

背景技术

近年来，对于图像显示元件、太阳能电池组件等而言，随着对柔软化(フ レキシブル化)、轻质化、薄型化等的要求，尝试了使用透明树脂膜来代替 玻璃基板。

图5为示出使用透明树脂膜作为保护片的太阳能电池组件的一例的简 略剖面图。

该太阳能电池组件200基本上由下述各部分构成：由晶体硅、无定形硅 等构成的太阳能电池单元201、对太阳能电池单元201进行封装的由电绝缘 体形成的封装材料(填充层)202、叠层在封装材料202表面的表面保护片(前 板)203、以及叠层在封装材料202背面的背面保护片(背板)204。

为了对太阳能电池组件200赋予能够耐受在户外及室内长期使用的耐 候性和耐久性，需要保护太阳能电池单元201及封装材料202不受风雨、湿 气、砂尘、机械冲击等的影响，同时使太阳能电池组件200的内部保持在与 外部气体隔离的密闭状态。因此，要求前板203以及背板204必须具有优异 的耐候性，尤其要求其水蒸气透过性低(阻气性高)。

但透明树脂膜的阻气性比玻璃基板低，单独使用时无法充分防止水蒸气 侵入到太阳能电池组件内。而且，由于透明树脂膜的表面平滑性低，在其表 面形成电极膜时，会在所述电极膜上形成突起，这会成为导致断路、短路的 原因。

因此，提出了通过溅射法等在合成树脂膜上叠层具有阻气性的无机薄 膜，从而赋予了阻气性的膜(阻气膜)(例如，参考专利文献1)。

但是，与单独的透明树脂膜相比，现有的阻气膜虽然阻气性得到了改善， 但并不能说充分满足了要求。而且，无机薄膜在将膜弯曲时容易产生裂纹， 存在气体容易从产生了裂纹的地方透过的担心。

针对因膜的弯曲而产生裂纹的问题，提出了通过在合成树脂片上交替地 叠层无机薄膜和有机薄膜，使得在无机薄膜上不易产生裂纹的方法(例如， 参考专利文献2)。但是，该膜不仅制造工序繁杂，而且无机薄膜和有机薄膜 的密合性低，薄膜间容易发生剥离。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平10-305542号公报

专利文献2：日本特开2005-289052号公报

发明内容

发明要解决的问题

本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供一种阻气性及表面平 滑性优异、并且层间高度密合、在弯曲时也不易产生裂纹的阻气膜、以及具 有该阻气膜的电子器件。

解决问题的方法

为了解决上述问题，本发明人等进行了深入研究，结果发现：在基体材 料上设置含有聚有机硅氧烷类化合物的层，再在其上通过动态离子束混合法 (ダイナミツクイオンミキシング法)形成无机物层，由此，可以得到不仅阻 气性及表面平滑性优异，而且层间高度密合、弯曲时也不易产生裂纹的阻气 膜，从而完成了本发明。

即，本发明涉及一种阻气膜，其具有基体材料、以及依次设置在所述基 体材料的至少一侧表面上的含有聚有机硅氧烷类化合物的层和无机物层，其 中，所述无机物层是通过动态离子束混合法成膜的。

另外，在本发明中，优选构成所述无机物层的无机化合物为选自金属单 质、硅、石墨、无机氧化物、无机氮化物及无机氮氧化物中的至少一种。

另外，在本发明中，优选所述无机化合物为选自氮化硅、氧化硅、氮氧 化硅、氧化铝、氮化铝、氮氧化铝、氧化铟及氧化铟锡中的至少一种。

另外，在本发明中，优选所述动态离子束混合法中使用的等离子体生成 气体包含选自氦气、氩气、氖气、氪气及氙气中的至少一种。

另外，在本发明中，优选所述动态离子束混合法中使用的等离子体生成 气体为进一步包含选自氢气、氧气、氮气及碳氟化合物中的至少一种的混合 气体。

此外，在本发明中，所述动态离子束混合法优选在所述基体材料上以脉 冲方式施加-50kV～-1kV的负的高电压。

此外，在本发明中，优选所述含有聚有机硅氧烷类化合物的层的厚度为 0.01～100μm。

另外，在本发明中，优选所述含有聚有机硅氧烷类化合物的层的聚有机 硅氧烷类化合物为聚二甲基硅氧烷。