[发明专利]用于共振地驱动微机械系统的装置有效
| 申请号： | 201080013712.7 | 申请日： | 2010-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN102362152A | 公开（公告）日： | 2012-02-22 |
| 发明（设计）人： | A·弗兰克;F·弗罗因德;D·C·迈泽尔 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56;G02B26/08 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于共振地驱动微机械系统的装置，包括：至少一个被弹簧振动式支承的感振质量；至少一个用于驱动所述感振质量振动的驱动装置；和至少一个与所述感振质量运动耦合的元件。该装置还包括至少一个用于检测随所述感振质量的振动变化的、在运动耦合的元件与检测元件之间的关系参数的检测元件，其中，所述检测元件被设置用于在达到所述关系参数的一预给定的值时引起振动驱动装置的中断。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 共振 驱动 微机 系统 装置 | ||
【主权项】：
用于共振地驱动微机械系统的装置，包括：至少一个被弹簧振动式支承(11，12)的感振质量(10)，至少一个用于驱动所述感振质量(10)振动的驱动装置(8，9；4)，至少一个与所述感振质量(10)运动耦合的元件(7)，至少一个用于检测随所述感振质量(10)的振动变化的、在运动耦合的元件(7)与检测元件(6)之间的关系参数的检测元件(6)，其中，所述检测元件(6)被设置用于在达到所述关系参数的一预给定的值时引起振动驱动装置(4)的中断(5)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于罗伯特·博世有限公司，未经罗伯特·博世有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201080013712.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
