[发明专利]金刚烷衍生物、其制造方法和以其为原料的聚合物和树脂组合物无效
| 申请号： | 201080010488.6 | 申请日： | 2010-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN102341366A | 公开（公告）日： | 2012-02-01 |
| 发明（设计）人： | 新井誉久;矶部刚彦 | 申请（专利权）人： | 三菱瓦斯化学株式会社 |
| 主分类号： | C07C69/757 | 分类号： | C07C69/757;C07C67/08;C08F20/28;G03F7/039 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
本发明提供下述式(1)所示的金刚烷衍生物、其制造方法、包含以具有该式(1)所示的金刚烷结构的丙烯酸酯化合物为重复单元的聚合物、包含该聚合物的功能性树脂组合物。所述功能性树脂组合物作为对KrF准分子激光、ArF准分子激光、F2准分子激光或EUV的远紫外线敏感的化学增幅型抗蚀剂，不会损害图案形状、耐干蚀刻性、耐热性等作为抗蚀剂的基本物性，即可实现分辨率、线边缘粗糙度的改善，并且其碱显影性或基板粘附性优异。(式中，R1～R3可以相同或不同，表示氢原子、碳原子数为1～3的烷基或含有卤素的烷基，R4～R8可以相同或不同，表示碳原子数为1～3的烷基或含有卤素的烷基，X可以相同或不同，表示氢原子、碳原子数为1～3的烷基、碳原子数为1～3的烷氧基，n表示14。) |
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| 搜索关键词： | 金刚 衍生物 制造 方法 以其 原料 聚合物 树脂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种下述式(1)所示的金刚烷衍生物，![]()
式(1)中，R1～R3可以相同或不同，表示氢原子、碳原子数为1～3的烷基或含有卤素的烷基，R4～R8可以相同或不同，表示碳原子数为1～3的烷基或含有卤素的烷基，X可以相同或不同，表示氢原子、碳原子数为1～3的烷基、碳原子数为1～3的烷氧基，n表示14。
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