[实用新型]管道连接器和应用所述管道连接器的化学气相沉积设备有效
| 申请号： | 201020658125.0 | 申请日： | 2010-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN201902735U | 公开（公告）日： | 2011-07-20 |
| 发明（设计）人： | 叶芷飞;张昭 | 申请（专利权）人： | 理想能源设备有限公司 |
| 主分类号： | F16L23/00 | 分类号： | F16L23/00;F16L23/02;F16L23/16;C23C16/455 |
| 代理公司： | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 | 代理人： | 张静洁;徐雯琼 |
| 地址： | 英属维京群岛托*** | 国省代码： | 维尔京群岛;VG |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种管道连接器，其用于密封连接化学气相沉积设备中的反应腔和真空管道，所述管道连接器包含：与反应腔的排气口固定连接的第一法兰；与真空管道的一端连接的第二法兰；以及限定所述第一法兰和第二法兰之间距离的连接部件；所述管道连接器还包含：第三法兰，所述第三法兰设置于所述第一法兰和所述第二法兰之间；所述第三法兰与所述第一法兰之间形成有滑动密封连接，所述第三法兰与所述第二法兰之间形成有球面密封连接。本实用新型还公开了一种应用所述管道连接器的化学气相沉积设备。在化学气相沉积过程中，本实用新型能有效保证化学气相沉积设备中反应腔和真空管道之间的连接密封性能，从而保证化学气相沉积的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 管道 连接器 应用 化学 沉积 设备 | ||
【主权项】：
一种管道连接器，其用于密封连接化学气相沉积设备中的反应腔(21)和真空管道(24)，所述管道连接器(22)包含：与反应腔(21)的排气口(25)固定连接的第一法兰(221)；与真空管道(24)的一端连接的第二法兰(222)；以及限定所述第一法兰(221)和第二法兰(222)之间距离的连接部件；其特征在于，所述管道连接器(22)还包含：第三法兰(223)，所述第三法兰(223)设置于所述第一法兰(221)和所述第二法兰(222)之间；所述第三法兰(223)与所述第一法兰(221)之间形成有滑动密封连接，所述第三法兰(223)与所述第二法兰(222)之间形成有球面密封连接。
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