[发明专利]偏振分光棱镜镀膜面角度测量方法和测量装置

摘要

本发明涉及一种偏振分光棱镜镀膜面角度测量方法和测量装置。偏振分光棱镜镀膜面角度测量方法包括：提供相连的载物平台、第一转台和第二转台；设置一个与载物平台平行的反射镜于第二转台，记录第一和第二转台的初始位置；将待测偏振分光棱镜设置在载物平台；设置第一光阑和第二光阑，使激光束依次通过第一光阑、第二光阑，进入待测偏振分光棱镜，被镀膜面反射、反射镜反射；调节第一转台和第二转台，使反射镜反射的光依次进入偏振分光棱镜、被镀膜面反射、通过第二光阑和第一光阑；记录第一第二转台的当前位置。本发明测量装置结构简单、容易操作。

主权项

一种偏振分光棱镜镀膜面角度测量方法，其特征在于，该测量方法包括：提供一个载物平台、一个与载物平台连接的第一转台和一个与第一转台连接的第二转台，该第一转台和第二转台均在平面内旋转，载物平台所在平面、第一转台的旋转平面和第二转台的旋转平面互相交叉；设置一个反射镜于该第二转台，调节该第一转台、第二转台和该反射镜中的一个或者多个，使该反射镜反射面与该载物平台所在平面平行，记录该第一转台和第二转台的初始位置；将待测偏振分光棱镜设置在该载物平台；设置一个第一光阑和一个第二光阑，使激光束依次通过该第一光阑和第二光阑形成入射光束并使入射光束射入该待测偏振分光棱镜，该入射光经待测偏振分光棱镜的镀膜面反射形成第一出射光向该反射镜方向出射；调节该第一转台和第二转台，使该反射镜反射该第一出射光形成反射光，使该反射光经过该待测偏振分光棱镜的镀膜面反射形成第二出射光，使该第二出射光依次通过该第二光阑和第一光阑；记录该第一转台和第二转台的当前位置。