[发明专利]一种镧锶锰氧-钛酸锶铅复合薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201010613934.4 | 申请日： | 2010-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN102179967A | 公开（公告）日： | 2011-09-14 |
| 发明（设计）人： | 陈莹;董显林;王根水;张帅 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | B32B9/04 | 分类号： | B32B9/04;C04B35/47;C04B35/472;C04B35/50;C04B35/622;C04B41/50 |
| 代理公司： | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 何葆芳 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种镧锶锰氧-钛酸锶铅复合薄膜，为层状结构，是由钛酸锶铅薄膜层、镧锶锰氧薄膜层及基底层依次由上至下层叠而成。所述复合薄膜的制备是首先使用醋酸或醋酸和去离子水作为溶剂，制得稳定的镧锶锰氧前驱体溶液和钛酸锶铅前驱体溶液；再采用旋转镀膜法先在基底片上制备所需要厚度的镧锶锰氧薄膜，再在所制得的镧锶锰氧薄膜上制备所需要厚度的钛酸锶铅薄膜，最后快速冷却到室温即可。本发明的复合薄膜具有均匀性好、粗糙度小、无微裂纹，性能稳定，且具有良好的电学性能、铁磁性能及磁介电效应等优点，可与半导体集成电路技术相兼容，用于制造集成的多功能磁/电器件，且制备工艺简单，原料价廉、无毒，污染小，适合规模化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镧锶锰氧 钛酸锶铅 复合 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种镧锶锰氧‑钛酸锶铅复合薄膜，其特征在于：为层状结构，是由钛酸锶铅薄膜层、镧锶锰氧薄膜层及基底层依次由上至下层叠而成。
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