[发明专利]缺陷量测装置和缺陷量测方法无效
| 申请号： | 201010609535.0 | 申请日： | 2010-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN102565130A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 彭保仁;陈政宪;柯心怡;温博浚 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01N25/72 | 分类号： | G01N25/72;G01J5/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种缺陷量测装置和缺陷量测方法，该缺陷量测装置包括至少一加热源，用以均匀地加热一样品的一第一端；至少一致冷源，用以均匀地致冷样品的一第二端；以及一热像仪，用以量测样品的热影像；其中加热源和致冷源用以使得样品的热影像具有温度梯度。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种缺陷量测装置，包括：至少一加热源，用以均匀地加热一样品的一第一端；至少一致冷源，用以均匀地致冷上述样品的一第二端；以及热像仪，用以量测上述样品的热影像；其中上述加热源和上述致冷源，用以使得上述样品的热影像具有温度梯度。
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