[发明专利]一种高纯度三氯氢硅的提纯方法无效
| 申请号： | 201010602611.5 | 申请日： | 2010-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN102030336A | 公开（公告）日： | 2011-04-27 |
| 发明（设计）人： | 郎丰平;邱顺恩;黄少辉;黄小明;李明生 | 申请（专利权）人： | 江西嘉柏新材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京元中知识产权代理有限责任公司 11223 | 代理人： | 杨建君 |
| 地址： | 333311 江*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高纯度三氯氢硅的提纯方法，所述的精馏采用连续式进料，包括如下步骤：a)将包含三氯氢硅的原料液送入第一精馏塔进行一级精馏，从塔顶分离出低沸物杂质；b)将所述第一精馏塔的塔釜馏分送入第二精馏塔进行二级精馏，从塔顶分离高纯度三氯氢硅；c)将所述第二精馏塔的塔釜馏分送入第三精馏塔进行三级精馏，塔顶馏分经冷凝后送入第二精馏塔进行再次精馏，塔釜馏分排至四氯化硅储槽。本发明通过三级精馏实现三氯氢硅的提纯，所得三氯氢硅的产率高达95％，纯度高达99.9％，较现有水平有显著提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纯度 三氯氢硅 提纯 方法 | ||
【主权项】：
一种高纯度三氯氢硅的提纯方法，其特征在于：所述的精馏采用连续式进料，包括如下步骤：a)将含三氯氢硅的原料液送入第一精馏塔进行一级精馏，从塔顶分离出含90％‑95％二氯二氢硅的低沸物杂质，塔釜馏分中硼含量低于0.05ppb；b)将所述第一精馏塔的塔釜馏分送入第二精馏塔进行二级精馏，从塔顶分离出99.9％以上的三氯氢硅，其中磷含量低于0.05ppb；c)将所述第二精馏塔的塔釜馏分送入第三精馏塔进行三级精馏，塔顶馏分经冷凝后送入第二精馏塔进行再次精馏，塔釜馏分排至四氯化硅储槽。
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