[发明专利]烧结钕铁硼磁体表面磁控溅射镀覆不锈钢防护层的方法无效
| 申请号： | 201010592932.1 | 申请日： | 2010-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN102002669A | 公开（公告）日： | 2011-04-06 |
| 发明（设计）人： | 袁庆龙;范广新;张宝庆;李强;刘宝忠 | 申请（专利权）人： | 河南理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/16 | 分类号： | C23C14/16;C23C14/35 |
| 代理公司： | 郑州红元帅专利代理事务所(普通合伙) 41117 | 代理人： | 杨妙琴 |
| 地址： | 454000 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明提供一种烧结钕铁硼磁体表面磁控溅射镀覆不锈钢防护层的方法，该方法是：先对钕铁硼磁体表面抛光处理后装炉；抽真空5×10-3-10-1Pa，通氩气18～35Pa，接通直流电源甲，在钕铁硼磁体与真空室壳体之间加180～450伏负偏压，通过辉光离子轰击对钕铁硼磁体表面处理，轰击时间5～12min，关闭直流电源甲；接通直流电源乙，在不锈钢磁控靶与真空室壳体之间加上350～550伏负偏压，通过辉光离子轰击不锈钢磁控靶，使靶材表面原子以一定能量逸出，沉积在钕铁硼磁体表面上，形成均匀的镀覆防护层；关闭直流电源乙，在氩气保护下降温，出炉抛光处理。本发明可以在钕铁硼基体材料表面形成耐蚀性优良的不锈钢镀层。 | ||
| 搜索关键词： | 烧结 钕铁硼 磁体 表面 磁控溅射 镀覆 不锈钢 防护 方法 | ||
【主权项】：
一种烧结钕铁硼磁体表面磁控溅射镀覆不锈钢防护层的方法，其特征在于：该方法包括以下步骤： 第一步、对钕铁硼磁体表面进行抛光、除油处理，吹干后装炉；第二步、抽真空至5×10‑3‑10‑1Pa，通氩气至18～35Pa，接通直流电源甲，在钕铁硼磁体与真空室壳体之间加上180～450伏负偏压， 通过辉光离子轰击对钕铁硼磁体表面进行净化、活化预处理，清除钕铁硼磁体表面的油膜、氧化膜，轰击时间5～12min ，然后关闭直流电源甲；第三步、接通直流电源乙，在不锈钢磁控溅射靶与真空室壳体之间加上350～550伏负偏压，通过辉光离子轰击不锈钢磁控溅射靶，使靶材表面原子以一定能量逸出，然后沉积在钕铁硼磁体表面上，形成均匀的镀覆防护层，时间90～300min，由镀层厚度而定；第四步、关闭直流电源乙，在氩气保护下降温，出炉后进行抛光处理。
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