[发明专利]烧结钕铁硼磁体表面磁控溅射镀覆不锈钢防护层的方法

权利要求书

1.一种烧结钕铁硼磁体表面磁控溅射镀覆不锈钢防护层的方法，其特征在于：该方法包括以下步骤： 

 第一步、对钕铁硼磁体表面进行抛光、除油处理，吹干后装炉；

第二步、抽真空至5×10^-3-10^-1Pa，通氩气至18～35Pa，接通直流电源甲，在钕铁硼磁体与真空室壳体之间加上180～450伏负偏压， 通过辉光离子轰击对钕铁硼磁体表面进行净化、活化预处理，清除钕铁硼磁体表面的油膜、氧化膜，轰击时间5～12min ，然后关闭直流电源甲；

第三步、接通直流电源乙，在不锈钢磁控溅射靶与真空室壳体之间加上350～550伏负偏压，通过辉光离子轰击不锈钢磁控溅射靶，使靶材表面原子以一定能量逸出，然后沉积在钕铁硼磁体表面上，形成均匀的镀覆防护层，时间90～300min，由镀层厚度而定；

第四步、关闭直流电源乙，在氩气保护下降温，出炉后进行抛光处理。

2.根据权利要求1所述的烧结钕铁硼磁体表面磁控溅射镀覆不锈钢防护层的方法，其特征在于：所述的步骤一中抛光处理是指，对钕铁硼磁体表面待镀部位先用1000～1200目砂布轮打磨再用棉布轮抛光，为随后施镀做准备，并为镀覆完成后抛光做前期准备。

3.根据权利要求1所述的烧结钕铁硼磁体表面磁控溅射镀覆不锈钢防护层的方法，其特征在于：所述的步骤一中除油处理是指，用脱脂棉蘸上丙酮或酒精擦拭钕铁硼磁体表面，用吹风机吹干。

4.根据权利要求1所述的烧结钕铁硼磁体表面磁控溅射镀覆不锈钢防护层的方法，其特征在于：所述的步骤二和三抽真空至0.005～0.5Pa，充氩后真空度18～35Pa，直流电源甲负偏压180～450伏，轰击时间5～12min，关闭直流电源甲后才开启直流电源乙，直流电源乙负偏压350～550伏，直流电源亦可一机两用。

5.根据权利要求1所述的烧结钕铁硼磁体表面磁控溅射镀覆不锈钢防护层的方法，其特征在于：所述的步骤二和三的工艺参数：抽真空至0.01～0.1Pa，充氩后真空度22～30Pa，直流电源甲负偏压250～380伏，轰击时间6～10min，直流电源乙负偏压380～480伏。

6.根据权利要求1所述的烧结钕铁硼磁体表面磁控溅射镀覆不锈钢防护层的方法，其特征在于：所述的不锈钢靶材为铬型不锈钢或特殊不锈钢。

7.根据权利要求1所述的烧结钕铁硼磁体表面磁控溅射镀覆不锈钢防护层的方法，其特征在于：所述的镀覆防护层为铬型不锈钢或特殊不锈钢。