[发明专利]基板输送装置无效
| 申请号： | 201010565132.0 | 申请日： | 2004-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN102060193A | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 中村郁三;加藤洋 | 申请（专利权）人： | 奥林巴斯株式会社 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 党晓林 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种基板输送装置，其是使基板浮起而对基板进行输送的单轴输送方式的基板输送装置，其特征在于，该基板输送装置具备：使基板浮起的基板浮起部件；沿着上述基板浮起部件的一侧部配置的导向装置；基板保持机构，该基板保持机构对在上述基板浮起部件上浮起的所述基板的一侧部进行保持；输送机构，该输送机构中设置有上述基板保持机构，该输送机构在上述导向装置上行走而使上述基板在输送方向移动；基板支撑机构，该基板支撑机构配置在上述基板浮起部件的位于与上述输送机构相反一侧的另一侧部，该基板支撑机构与上述基板的另一侧部的下表面接触来支撑上述基板的另一侧部。 | ||
| 搜索关键词： | 输送 装置 | ||
【主权项】：
一种基板输送装置，其是使基板浮起而对基板进行输送的单轴输送方式的基板输送装置，其特征在于，该基板输送装置具备：使基板浮起的基板浮起部件；沿着上述基板浮起部件的一侧部配置的导向装置；基板保持机构，该基板保持机构对在上述基板浮起部件上浮起的所述基板的一侧部进行保持；输送机构，该输送机构中设置有上述基板保持机构，该输送机构在上述导向装置上行走而使上述基板在输送方向移动；基板支撑机构，该基板支撑机构配置在上述基板浮起部件的位于与上述输送机构相反一侧的另一侧部，该基板支撑机构与上述基板的另一侧部的下表面接触来支撑上述基板的另一侧部。
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