[发明专利]基板输送装置

权利要求书

1.一种基板输送装置，其是使基板浮起而对基板进行输送的单轴输送方式的基板输送装置，其特征在于，

该基板输送装置具备：

使基板浮起的基板浮起部件；

沿着上述基板浮起部件的一侧部配置的导向装置；

基板保持机构，该基板保持机构对在上述基板浮起部件上浮起的所述基板的一侧部进行保持；

输送机构，该输送机构中设置有上述基板保持机构，该输送机构在上述导向装置上行走而使上述基板在输送方向移动；

基板支撑机构，该基板支撑机构配置在上述基板浮起部件的位于与上述输送机构相反一侧的另一侧部，该基板支撑机构与上述基板的另一侧部的下表面接触来支撑上述基板的另一侧部。

2.根据权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于，

上述基板支撑机构以隔着上述基板浮起部件而与上述导向装置平行的方式在上述输送方向延伸设置。

3.根据权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于，

上述基板支撑机构设置成，以使与上述基板的下表面接触的高度为与上述基板的浮起高度大致相同的高度的方式相对于上述基板浮起部件的上表面突出。

4.根据权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于，

上述基板支撑机构与上述基板的未形成图形的图形区域外的下表面接触来支撑上述基板。

5.根据权利要求1所述的基板输送机构，其特征在于，

上述基板支撑机构具有与上述基板的另一侧部的下表面接触的多个旋转支撑部件，该旋转支撑部件在输送上述基板的同时向上述输送方向旋转，来支撑上述基板的另一侧部。

6.根据权利要求5所述的基板输送装置，其特征在于，

上述旋转支撑部件是能够向上述输送方向旋转的滚子，或者是被支撑成能够向多个方向自由旋转的滚珠。

7.根据权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于，

上述基板保持机构具有吸附保持上述基板的上表面和下表面中的至少一方的吸附机构，或具有把持上述基板的上下面的卡盘机构。