[发明专利]基板输送装置

说明书

本发明是申请号为200410085642.2、申请日为2004年10月14日、发明名称为“基板输送装置”的中国发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种将大型基板浮起进行输送的基板输送装置。

背景技术

近年来，伴随液晶显示器(以下略称为LCD)和等离子体显示板(以下略称为PDP)等平板显示器(以下略称为FPD)的画面大型化，用于FPD的玻璃基板的尺寸有逐年变大型化的趋势。

以往，在FPD制造工序中，作为输送大型玻璃基板的基板输送装置，从空气吹出部件(基板浮起部件)向玻璃基板的下表面吹出压缩空气，使玻璃基板在空气吹出部件上浮起(例如，参照日本特开2000-193604号公报(图3、图4))。在这种结构的基板输送装置中，能够容易输送玻璃基板并且使其表面不受损伤。

并且，在该基板输送装置设有：从下面侧支撑与玻璃基板的行进方向正交的宽度方向两端的支撑滚子机构；和接触玻璃基板的宽度方向的两端面的一对限制滚子机构。限制滚子机构通过从侧部夹持从空气吹出部件宽度方向端部(侧端部)突出的玻璃基板宽度方向两端部来限制宽度方向的位置。并且，支撑滚子机构接近该限制滚子机构配置。

但是，限制滚子机构由于是离开空气吹出部件来夹持玻璃基板的宽度方向端部，所以在利用压缩空气使其浮起时，由限制滚子机构夹持的玻璃基板的宽度方向端部相对通过压缩空气而浮起的玻璃基板表面而挠曲，不能水平地保持整个玻璃基板而输送。

另外，由于利用限制滚子机构夹持玻璃基板，所以向玻璃基板的宽度方向端部施加较大负荷，有可能致使玻璃基板受损。

而且，支撑滚子机构接近该限制滚子机构而配置，所以玻璃基板有时会在空气吹出部件的侧端部和支撑滚子机构之间在下方挠曲。此处，玻璃基板基于压缩空气的浮起高度很小例如0.2mm，所以即使前述的玻璃基板的挠曲很小，也有可能因该挠曲致使玻璃基板接触空气吹出部件的侧端部，使玻璃基板受损。

发明内容

本发明就是鉴于上述情况而提出的，其目的在于提供一种基板输送装置，在将基板浮起进行输送时，减轻相对基板的外部负荷，同时可以水平地输送基板并且使其不接触空气吹出部件。

根据本发明，提供一种基板输送装置，其是使基板浮起而对基板进行输送的单轴输送方式的基板输送装置，其特征在于，该基板输送装置具备：使基板浮起的基板浮起部件；沿着上述基板浮起部件的一侧部配置的导向装置；基板保持机构，该基板保持机构对在上述基板浮起部件上浮起的所述基板的一侧部进行保持；输送机构，该输送机构中设置有上述基板保持机构，该输送机构在上述导向装置上行走而使上述基板在输送方向移动；基板支撑机构，该基板支撑机构配置在上述基板浮起部件的位于与上述输送机构相反一侧的另一侧部，该基板支撑机构与上述基板的另一侧部的下表面接触来支撑上述基板的另一侧部。

为了达到上述目的，根据本发明提供的基板输送装置，以非接触状态使基板浮起进行输送，其特征在于，具有：以非接触状态使基板浮起的基板浮起部件；保持在所述基板浮起部件上浮起的所述基板的侧部并强制输送的输送机构；和基板支撑机构，设置在与所述基板的输送方向平行的所述基板浮起部件的侧部，从下面侧支撑从所述基板浮起部件侧部在外侧突出的所述基板的侧部。

根据上述结构的基板输送装置，基板支撑机构设在基板浮起部件的侧部，从下面侧支撑从基板浮起部件的侧部在外侧突出的基板的侧部，所以能够防止基板接触基板浮起部件而受损。并且，即使玻璃基板向下方侧翘曲时也能把玻璃基板矫正为水平状态。

根据本发明的其他方式提供的基板输送装置，在平板显示器的制造工序中以非接触状态使玻璃基板浮起进行输送，其特征在于，具有：基板浮起部件，其宽度尺寸被设定成小于所述玻璃基板的宽度尺寸，并且与形成于所述玻璃基板上的图形区域最外侧的宽度尺寸大致相同，以非接触状态使所述玻璃基板浮起；输送机构，保持通过所述基板浮起部件浮起的所述玻璃基板的所述图形区域以外的一侧侧部或两侧侧部并强制输送；和基板支撑机构，沿着与所述玻璃基板的输送方向平行的所述基板浮起部件的一侧侧部或两侧侧部设置，从下面侧支撑从所述基板浮起部件突出的所述图形区域以外的所述玻璃基板的一侧侧部或两侧侧部，利用所述基板支撑机构把从所述基板浮起部件的一侧侧部或两侧侧部突出的所述玻璃基板的一侧侧部或两侧侧部支撑为水平状态。