[发明专利]一种使用脉冲激光法在内腔表面镀膜的装置与方法有效
| 申请号： | 201010523120.1 | 申请日： | 2010-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN102021518A | 公开（公告）日： | 2011-04-20 |
| 发明（设计）人： | 赵栋才;肖更竭;马占吉;武生虎;任妮 | 申请（专利权）人： | 中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 张利萍;郭德忠 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种使用脉冲激光法在内腔表面镀膜的装置，包括激光器、平面镜、凸透镜，真空室、靶材、水冷管，还包括连动装置，工件架，导轨，其中导轨与真空室壁连接，工件架设有可沿导轨运动的滚轮，工件架一端与连动装置相连接，通过连动装置可以带动工件架在导轨上运动。本发明还涉及一种使用脉冲激光法在内腔表面镀膜的方法。使用本发明所述装置和方法可以实现脉冲激光内腔镀膜，且能实现多种薄膜沉积。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 使用 脉冲 激光 在内 表面 镀膜 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种使用脉冲激光法在内腔表面镀膜的装置，包括激光器(14)、平面镜(1)、凸透镜(2)，真空室(4)、靶材(7)、水冷管(8)，其特征在于，还包括连动装置(11)，工件架(12)，导轨(13)，其中导轨(13)与真空室(4)壁连接，工件架(12)设有可沿导轨(13)运动的滚轮，工件架(12)一端与连动装置(11)相连接，通过连动装置(11)可以带动工件架(12)在导轨(13)上运动。
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