[发明专利]一种使用脉冲激光法在内腔表面镀膜的装置与方法

权利要求书

1.一种使用脉冲激光法在内腔表面镀膜的装置，包括激光器(14)、平面镜(1)、凸透镜(2)，真空室(4)、靶材(7)、水冷管(8)，其特征在于，还包括连动装置(11)，工件架(12)，导轨(13)，其中导轨(13)与真空室(4)壁连接，工件架(12)设有可沿导轨(13)运动的滚轮，工件架(12)一端与连动装置(11)相连接，通过连动装置(11)可以带动工件架(12)在导轨(13)上运动。

2.根据权利要求1所述的在内腔表面镀膜的装置，其特征在于连动装置(11)设置在真空室(4)外部。

3.根据权利要求1或2所述的在内腔表面镀膜的装置，其特征在于还包括连接在真空室(4)壁的加热器。

4.一种采用脉冲激光法在内腔表面镀膜的方法，包括以下步骤：

(1)化学清洗：首先采用绸布蘸丙酮/乙醇对工件内表面进行擦洗，直到绸布颜色不再发生明显变化为止；或者将待镀件置于超声清洗装置中，根据待镀件的特性，用丙酮或、乙醇等其他溶液清洗；

(2)抽真空：使真空室(4)中保持真空；

(3)通过加热器(6)加热，以提高薄膜质量；

(4)沉积薄膜：在脉冲激光镀膜过程中，激光器(14)发射的激光通过平面镜(1)反射，由凸透镜(2)聚焦到靶面上；待镀件(5)在连动装置(11)的带动下，沿真空室(4)轴向运动；靶材(7)绕自身轴(10)旋转，当待镀件(5)从一端移动到另一端，完成其内腔镀膜过程；

(5)镀膜过程结束，待降温后，放气，取下工件。

5.根据权利要求4所述的在内腔表面镀膜的方法，其特征在于，在步骤(4)中，如果待镀件(5)比较长，从一端移动到中间位置，待镀件(5)调转方向后完成薄膜沉积过程。