[发明专利]反馈稳幅的调幅测力梯度仪及其扫描力显微镜和测频仪

摘要

反馈稳幅的调幅测力梯度仪，含力传感器、力传感器信号检测器、压电振荡器、振幅检测器，压电振荡器上固定的力传感器经力传感器信号检测器输出至振幅检测器，其特征还含比较器、可变增益放大器、偏差信号放大器，比较器的信号输入和输出分别接振幅检测器输出和偏差信号放大器输入，可变增益放大器的增益控制输入和输出分别接偏差信号放大器输出和压电振荡器，该测力梯度仪的输出、频率输入和振幅设置输入分别由偏差信号放大器输出、可变增益放大器信号输入和比较器参考输入构成。将XYZ定位器置于样品与压电振荡器之间，就构成扫描力显微镜。该测力梯度仪也可测频率输入端的待测信号频率。本发明大大提高传统调幅测力梯度仪测速但不损失频率分辨率。

主权项

一种反馈稳幅的调幅测力梯度仪，包括力传感器、力传感器信号检测器、压电振荡器、振幅检测器，力传感器固定于压电振荡器上，力传感器输出至力传感器信号检测器，力传感器信号检测器输出至振幅检测器的输入，其特征在于还包含比较器、可变增益放大器、偏差信号放大器，所述比较器的信号输入和输出的偏差信号分别接振幅检测器的输出和偏差信号放大器的输入，所述可变增益放大器的增益控制输入和输出分别接偏差信号放大器输出和压电振荡器，本发明反馈稳幅的调幅测力梯度仪的输出、频率输入和振幅设置输入分别由偏差信号放大器的输出、可变增益放大器的信号输入和比较器的参考输入构成。