[发明专利]硅片清洗废水回用装置

摘要

本发明涉及一种硅片清洗废水回用装置，包括相连通的回用水蓄水池、增压水泵、压力水罐及脱胶机蓄水槽；回用水蓄水池内设置有第一液位传感器，压力水罐上设置有压力传感器，第一液位传感器及压力传感器与增压水泵的电控器电连接；脱胶机蓄水槽内设置有第二液位传感器，第二液位传感器与第一电磁阀及第二电磁阀电连接。本发明可充分利用清洗机排放的废水供脱胶机使用，提高了废水回用率，能够有效节约生产用水，减少废水排放；本发明还可以省去清洗机和脱胶机自带的废水回用装置，在节约生产成本的同时也可节约设备成本。

主权项

一种硅片清洗废水回用装置，其特征是：包括回用水蓄水池（1）、增压水泵（2）、压力水罐（3）及脱胶机蓄水槽（4）；所述回用水蓄水池（1）与回用水进水管（11）相连通，所述回用水蓄水池（1）通过抽水管（15）与所述增压水泵（2）相连通，所述增压水泵（2）通过压力水罐进水管（31）与所述压力水罐（3）相连通，所述压力水罐（3）通过压力水罐出水管（33）与第一电磁阀（41）相连通，所述第一电磁阀（41）通过回用水补水管（42）与所述脱胶机蓄水槽（4）相连通，所述脱胶机蓄水槽（4）与自来水补水管（45）相连通，所述自来水补水管（45）上设置有第二电磁阀（44）；所述回用水蓄水池（1）内设置有第一液位传感器（13），所述压力水罐（3）上设置有压力传感器（32），所述第一液位传感器（13）及所述压力传感器（32）与所述增压水泵（2）的电控器电连接；所述脱胶机蓄水槽（4）内设置有第二液位传感器（43），所述第二液位传感器（43）与所述第一电磁阀（41）及所述第二电磁阀（44）电连接。