[发明专利]一种基于离子注入平行限束光栏的结构无效
| 申请号： | 201010513472.9 | 申请日： | 2010-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN102446684A | 公开（公告）日： | 2012-05-09 |
| 发明（设计）人： | 唐景庭;伍三忠;孙勇;曹远翔;刘世勇 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/30 | 分类号： | H01J37/30;H01J37/317;H01L21/265 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市中关村科*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于离子注入平行限束光栏的结构，涉及离子注入机，属于半导体制造领域。该结构包括：真空腔体(1)、上光栏板(2)、下光栏板(3)、伺服电机(4)、滑动轴一(5)、滑动轴二(6)。所述的上光栏板(2)安装在滑动轴一(5)的下端，所述的下光栏板(3)安装在滑动轴二(6)的下端，所述的滑动轴一(5)和滑动轴二(6)的上端都与伺服电机(4)相连，在伺服电机(4)的驱动下进行等速相反的调节运动，实现上光栏板(2)与下光栏板(3)之间距离的大小调节。上光栏板(2)和下光栏板(3)为锯齿型，可承受大功率离子束的轰击，且具有光栏应有的锐边效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 离子 注入 平行 限束光栏 结构 | ||
【主权项】：
一种基于离子注入平行限束光栏的结构，其特征在于：该结构包括：真空腔体(1)、上光栏板(2)、下光栏板(3)、伺服电机(4)、滑动轴一(5)、滑动轴二(6)。
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