[发明专利]气体喷洒模块及其气体喷洒扫描装置

摘要

本发明公开一种气体喷洒模块及其气体喷洒扫描装置，气体喷洒模块，其可以提供导引多种气体，并使该气体在模块内藉由气体通道的转折产生均匀扩散，使得气体可以均匀分布在气体喷洒模块内，在经由气体出口通道的导引均匀喷洒至基材上。此外，本发明还提供一种气体喷洒扫描装置，其将气体喷洒模块或者是承载基材的承载台耦设在可提供线性位移运动的位移驱动单元上，藉由线性位移运动将气体均匀洒布在基材上。

主权项

一种气体喷洒模块，其特征在于，包括有：一本体；一对扩散通道部，其形成于该本体内；一对进气部，其分别与该对扩散通道部相连通；以及一出气部，其设置于该本体内且分别与该对扩散通道部相连接，该出气部于该本体的一表面上具有至少一出口。