[发明专利]一种晶圆级弹性体压入微球植球装置

摘要

本发明涉及一种晶圆级弹性体压入微球植球装置，包括架台、支脚、网板、Y向运动机构、X向运动机构、直线导轨、Z向运动机构、旋转机构、供球机构及弹性体植球头，支脚有设在架台底部的四角，网板固定在架台的中部，Y向运动机构设于网板的一侧，X向运动机构一端设于Y向运动机构之上，另一端设于直线导轨之上，直线导轨设于网板的另一侧，Z向运动机构设于X向运动机构上部，旋转机构及供球机构固定于Z向运动机构上，弹性体植球头设在供球机构的下部。与现有技术相比，本发明制作相对简单，成本大幅降低，并且对微球伤害小，植球成功率高，微球利用率高。

主权项

一种晶圆级弹性体压入微球植球装置，其特征在于，该装置包括架台、支脚、网板、Y向运动机构、X向运动机构、直线导轨、Z向运动机构、旋转机构、供球机构及弹性体植球头，所述的支脚有4个，设在架台底部的四角，所述的网板固定在架台的中部，所述的Y向运动机构设于网板的一侧，所述的X向运动机构一端架设在Y向运动机构上，另一端嵌套在直线导轨上，所述的直线导轨设于网板的另一侧，与Y向运动机构水平，所述的Z向运动机构设于X向运动机构上部，所述的旋转机构及供球机构固定于Z向运动机构的滑块上，所述的弹性体植球头设在供球机构的下部。