[发明专利]一种晶圆级弹性体压入微球植球装置

权利要求书

1.一种晶圆级弹性体压入微球植球装置，其特征在于，该装置包括架台、支脚、网板、Y向运动机构、X向运动机构、直线导轨、Z向运动机构、旋转机构、供球机构及弹性体植球头，所述的支脚有4个，设在架台底部的四角，所述的网板固定在架台的中部，所述的Y向运动机构设于网板的一侧，所述的X向运动机构一端架设在Y向运动机构上，另一端嵌套在直线导轨上，所述的直线导轨设于网板的另一侧，与Y向运动机构水平，所述的Z向运动机构设于X向运动机构上部，所述的旋转机构及供球机构固定于Z向运动机构的滑块上，所述的弹性体植球头设在供球机构的下部。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆级弹性体压入微球植球装置，其特征在于，X向运动机构、Y向运动机构及Z向运动机构采用电机加上滚珠丝杠或同步齿形带进行驱动。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆级弹性体压入微球植球装置，其特征在于，所述的电机为交流伺服电机或步进电机。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆级弹性体压入微球植球装置，其特征在于，所述的旋转机构为中空旋转电机或普通电机，中空旋转电机或普通电机带动中空轴旋转。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆级弹性体压入微球植球装置，其特征在于，所述的普通电机为交流伺服电机或步进电机。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆级弹性体压入微球植球装置，其特征在于，所述的供球机构包括微球容器和供球管路，所述的供球管路设在微球容器的下部，该供球管路的下部连接弹性体植球头。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆级弹性体压入微球植球装置，其特征在于，所述的弹性体植球头由弹性体本体、连接块和防静电布组成，所述的防静电布包裹在弹性体本体的外部，所述的连接块设在弹性体本体的顶部，压紧防静电布。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆级弹性体压入微球植球装置，其特征在于，所述的弹性体本体的材料为具有一定伸缩特性的物质，包括海绵或软橡胶。