[发明专利]晶圆探针卡的同轴探针以及使用该同轴探针的测试头无效
| 申请号： | 201010274301.5 | 申请日： | 2010-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN102384991A | 公开（公告）日： | 2012-03-21 |
| 发明（设计）人： | 陈建宏;张智泓 | 申请（专利权）人： | 陈建宏;张智泓 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶圆探针卡的同轴探针以及使用该同轴探针的测试头，其中，该晶圆探针卡的同轴探针包括：一钨或钨合金探针本体，具有一第一端部以及一第二端部，其中该第一端部相对于该探针本体而倾斜并且具有一尖端；一或多层绝缘层，沉积在该探针本体的一区域上，其中该区域不覆盖该第一端部的该尖端以及该第二端部；及一金属导电层，沉积在至少一部分的该绝缘层上。通过本发明，能够屏蔽探针间的电容与电感耦合产生的噪声，在进行测试时，保证测试的稳定性，避免引起短路。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 同轴 以及 使用 测试 | ||
【主权项】：
一种晶圆探针卡的同轴探针，其特征在于，包含：一钨或钨合金探针本体，具有一第一端部以及一第二端部，其中该第一端部相对于该探针本体而倾斜并且具有一尖端；一或多层绝缘层，沉积在该探针本体的一区域上，其中该区域不覆盖该第一端部的该尖端以及该第二端部；及一金属导电层，沉积在至少一部分的该绝缘层上。
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