[发明专利]化学沉铜溶液循环过滤系统及方法有效

专利信息
申请号: 201010268942.X 申请日: 2010-08-31
公开(公告)号: CN102029089A 公开(公告)日: 2011-04-27
发明(设计)人: 黄云钟 申请(专利权)人: 北大方正集团有限公司;珠海方正科技高密电子有限公司
主分类号: B01D35/02 分类号: B01D35/02;C23C18/38;H05K3/18
代理公司: 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 代理人: 申健
地址: 100871 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种化学沉铜溶液循环过滤系统及方法,涉及印刷线路板生产技术领域,为更好地避免印刷线路板产生不良而发明。所述化学沉铜溶液循环过滤系统包括:沉铜反应主槽、过滤装置和排入溶液循环管道,所述排入溶液循环管道的邻近于其第二端的排入部分沿与所述沉铜反应主槽的底面平行或垂直或倾斜的方向延伸,所述排入溶液循环管道的排入部分中具有一个或多个开口,所述开口设在所述沉铜反应主槽中的化学沉铜溶液的液面之上或之下,并且处于距离所述沉铜反应主槽的底部至少预定高度处。本发明可用于过滤化学沉铜溶液。
搜索关键词: 化学 溶液 循环 过滤 系统 方法
【主权项】:
一种化学沉铜溶液循环过滤系统,其特征在于,包括:沉铜反应主槽,其具有用于排出化学沉铜溶液的溢流口;过滤装置,其具有入口和出口,所述入口通过排出溶液循环管道连接到所述溢流口;和排入溶液循环管道,其具有第一端和第二端,所述第一端与所述过滤装置的出口相连,且所述第二端延伸到所述沉铜反应主槽的回流位置;优选地,所述回流位置位于与所述溢流口相对的侧壁处;其中,所述排入溶液循环管道的邻近于所述第二端的排入部分沿与所述沉铜反应主槽的底面平行或垂直或倾斜的方向延伸,所述排入溶液循环管道的排入部分中具有一个或多个开口,所述开口设在所述沉铜反应主槽中的化学沉铜溶液的液面之上或之下,并且处于距离所述沉铜反应主槽的底部至少预定高度处。
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