[发明专利]平顶高斯光束皮秒脉冲激光加工系统

摘要

本发明涉及一种采用混合波长、平顶高斯光束进行皮秒脉冲激光加工的系统。该系统由一个皮秒激光光源、一个倍频装置，一个折转反射镜组、一个用来将普通的高斯光束整形成平顶高斯光束的非球面整形透镜组、一个扩束系统、一个可以控制移动的反射镜、一个聚焦镜、一个控制装置构成。本发明的激光加工系统可以有效的实现皮秒脉冲激光情况下的平顶高斯光束加工，来在加工件表面进行平整加工。此外，采用精密控制技术，可以有效提高平顶加工范围，实现宽范围的平整加工。

主权项

一种采用平顶高斯光束进行皮秒脉冲激光加工的系统，包括：一个皮秒激光光源；一个反射镜组；一个倍频装置；一个非球面整形透镜组；一个扩束系统；一个可控制反射镜；一个聚焦镜；一个被加工的工作件；一个控制装置。在上述的技术方案中，所述的皮秒激光光源用来产生加工用的高斯分布皮秒脉宽激光；所述的倍频装置用来将单一波长的激光转变成多波长的激光；所述的两个反射镜设置在所述的皮秒激光光源之后，组合起来控制激光束经过所述的非球面整形透镜组的中心；所述的倍频装置用来将激光束倍频，由单一波长变成两种或三种波长混合的激光；所述的非球面整形透镜组放置于所述的两个反射镜之后，用来将皮秒脉冲高斯光束整形为皮秒脉冲平顶高斯光束；非球面整形透镜组由2到3片透镜构成，包括一片或者两片具有非球面的透镜；所述的扩束系统放置于所述的非球面整形透镜组之后，用来调节光束直径；所述的可控制反射镜放置于所述的扩束系统之后，用来转折激光方向，同时通过控制系统实现宽范围加工。进行移位加工时，两次加工的光斑通过适当间隙的叠加，能够很好的实现平顶范围的扩宽。