[发明专利]溅射系统

摘要

公开了一种溅射系统，其包括第一和第二溅射单元、第一和第二气体供应管、第一和第二基底支撑单元。第一溅射单元包括：彼此面对的第一和第二沉积材料板；磁场产生器，位于第一和第二沉积材料板的后面。第二溅射单元包括：第三沉积材料板，靠近第一沉积材料板；第四沉积材料板，靠近第二沉积材料板，面对第三沉积材料板；磁场产生器，位于第三和第四沉积材料板的后面。第一气体供应管位于第一和第三沉积材料板之间，将气体排放到第二和第四沉积材料板。第二气体供应管位于第二和第四沉积材料板之间，将气体排放到第一和第三沉积材料板。第一基底支撑单元朝向第一和第二沉积材料板的外边缘。第二基底支撑单元朝向第三和第四沉积材料板的外边缘。

主权项

一种溅射系统，包括：第一溅射单元，包括：第一沉积材料板；第二沉积材料板，其中，第一沉积材料板和第二沉积材料板彼此面对；磁场产生器，布置在第一沉积材料板和第二沉积材料板中的每个的后面，用于产生磁场；第二溅射单元，包括：第三沉积材料板，被布置为靠近第一沉积材料板；第四沉积材料板，被布置为靠近第二沉积材料板，其中，第三沉积材料板和第四沉积材料板彼此面对；磁场产生器，布置在第三沉积材料板和第四沉积材料板中的每个的后面，用于产生磁场；第一气体供应管，布置在第一沉积材料板和第三沉积材料板之间，用于将气体排放到第二沉积材料板和第四沉积材料板；第二气体供应管，布置在第二沉积材料板和第四沉积材料板之间，用于将气体排放到第一沉积材料板和第三沉积材料板；第一基底支撑单元，朝向第一沉积材料板和第二沉积材料板的外边缘，用于支撑第一沉积基底；第二基底支撑单元，朝向第三沉积材料板和第四沉积材料板的外边缘，用于支撑第二沉积基底。