[发明专利]具有电流阻塞结构的四元系垂直发光二极管及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201010260023.8 申请日: 2010-08-23
公开(公告)号: CN101958378A 公开(公告)日: 2011-01-26
发明(设计)人: 许亚红;蔡家豪;廖齐华;邱姝颖;陈文欣;邱树添 申请(专利权)人: 厦门市三安光电科技有限公司
主分类号: H01L33/00 分类号: H01L33/00;H01L33/14
代理公司: 厦门原创专利事务所 35101 代理人: 徐东峰
地址: 361009 福建省厦*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 具有电流阻塞结构的四元系垂直发光二极管及其制备方法,分布布拉格反射层形成于衬底上,第一型磊晶层形成于分布布拉格反射层上,发光层形成于第一型磊晶层上,第二型磊晶层形成于发光层上,表面呈凹陷的十字交叉状扩展条的图形化GaP窗口层形成于第二型磊晶层上;第一电极形成于图形化GaP窗口层正上方,第一电极与图形化GaP窗口层呈中空电流阻塞结构;第二电极形成于衬底背面。本发明完成常规工艺后,采用第一电极与图形化GaP窗口层形成以空气为介质的中空电流阻塞结构,以改变电流从发光层到达表面扩展层的方向,将更多的电流从GaP窗口层四周扩展后汇集至电极,使发光二极管比采用公知技术的二极管的发光效率提高30~50%。
搜索关键词: 具有 电流 阻塞 结构 四元系 垂直 发光二极管 及其 制备 方法
【主权项】:
具有电流阻塞结构的四元系垂直发光二极管,包括一衬底,分布布拉格反射层形成于衬底上,第一型磊晶层形成于分布布拉格反射层上,发光层形成于第一型磊晶层上,第二型磊晶层形成于发光层上,表面呈凹陷的十字交叉状扩展条的图形化GaP窗口层形成于第二型磊晶层上;第一电极形成于图形化GaP窗口层正上方,第一电极与图形化GaP窗口层呈中空电流阻塞结构;第二电极形成于衬底背面。
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