[发明专利]对准衬底的方法

摘要

提供一种衬底对准方法。所述方法包含将衬底安置在衬底对准设备上；确定是否识别出衬底的对准标记；以及在识别出所有对准标记的位置的条件下，基于识别出的对准来对准衬底，在未识别出一半以上的对准标记的位置的条件下，产生对准出错信号，或在识别出至少一半的对准标记的位置的条件下，基于识别出的对准标记的位置来确定未识别出的对准标记的位置，且使用未识别出的对准标记的经确定的位置和识别出的对准标记的位置来对准衬底。通过预测未识别出的对准标记的位置，即使未识别出对准标记中的一些，仍可迅速地确认对所述对准标记的识别，且可有效地对准衬底。

主权项

一种用于对准衬底的方法，其包括：将衬底安置在衬底对准设备上；确定是否识别出所述衬底的对准标记；以及在识别出所有所述对准标记的位置的条件下，基于识别出的所述对准来对准所述衬底，在未识别出一半以上的所述对准标记的位置的条件下，产生对准出错信号，或在识别出至少一半的所述对准标记的位置的条件下，基于所述识别出的所述对准标记的位置来确定未识别出的所述对准标记的位置，且使用所述未识别出的所述对准标记的经确定的所述位置和所述识别出的所述对准标记的所述位置来对准所述衬底。