[发明专利]电压振动器的制造方法、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟

摘要

本发明提供能够有效率地制造的压电振动器的制造方法及压电振动器。提供一种压电振动器的制造方法，其中该压电振动器(1)包括：基底基板(2)及盖基板(3)，以在基底基板(2)与盖基板(3)之间形成空腔的方式叠合；压电振动片(4)，收容于空腔内并与基底基板一侧接合；以及接合膜(35)，在盖基板中朝向基底基板一侧的整个面形成，并在与基底基板接触的部分接合两基板，压电振动片具备一对振动腕部(10、11)和形成在振动腕部的前端部的重锤金属膜(21)，在该压电振动器(1)的制造方法中，接合膜用通过激光照射来激活而可吸附周围气体的材料形成，并且具备对重锤金属膜及接合膜同时照射激光的激光照射工序。

主权项

一种压电振动器的制造方法，其特征在于，所述压电振动器包括：基底基板及盖基板，以在该基底基板与盖基板之间形成空腔的方式叠合；压电振动片，收容于所述空腔内并与所述基底基板一侧接合；以及接合膜，形成所述盖基板中朝向所述基底基板一侧的整个面，并在与所述基底基板接触的部分接合两基板，所述压电振动片具备一对振动腕部和形成在所述振动腕部的前端部的重锤金属膜，在该压电振动器的制造方法中，所述接合膜用通过照射激光来激活而可吸附周围气体的材料形成，并且具备对所述重锤金属膜及所述接合膜同时照射激光的激光照射工序。