[发明专利]电压振动器的制造方法、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟

权利要求书

1.一种压电振动器的制造方法，其特征在于，所述压电振动器包括：

基底基板及盖基板，以在该基底基板与盖基板之间形成空腔的方式叠合；

压电振动片，收容于所述空腔内并与所述基底基板一侧接合；以及

接合膜，形成所述盖基板中朝向所述基底基板一侧的整个面，并在与所述基底基板接触的部分接合两基板，

所述压电振动片具备一对振动腕部和形成在所述振动腕部的前端部的重锤金属膜，在该压电振动器的制造方法中，

所述接合膜用通过照射激光来激活而可吸附周围气体的材料形成，并且

具备对所述重锤金属膜及所述接合膜同时照射激光的激光照射工序。

2.如权利要求1所述的压电振动器的制造方法，其特征在于，具备对从所述基底基板的法线方向来看不与所述重锤金属膜重叠的位置的所述空腔内的所述接合膜照射激光的预备吸气工序。

3.如权利要求2所述的压电振动器的制造方法，其特征在于，在所述激光照射工序前进行所述预备吸气工序。

4.如权利要求1至3中任一项所述的压电振动器的制造方法，其特征在于，所述激光照射工序包括对从所述基底基板的法线方向来看与所述振动腕部的前端部邻接的位置的所述接合膜照射激光的工序。

5.一种压电振动器，其特征在于包括：

基底基板及盖基板，以在该基底基板与盖基板之间形成空腔的方式叠合；

压电振动片，收容于所述空腔内并与所述基底基板一侧接合；以及

接合膜，形成在所述盖基板中朝向所述基底基板一侧的整个面，并在与所述基底基板接触的部分接合两基板，

所述压电振动片具备一对振动腕部和形成在所述振动腕部的前端部的重锤金属膜，

所述接合膜用通过照射激光来激活而可吸附周围气体的材料形成，

在所述重锤金属膜及所述接合膜分别形成有同时被照射激光的第一激光照射疵痕。

6.如权利要求5所述的压电振动器，其特征在于，在从所述基底基板的法线方向来看不与所述重锤金属膜重叠的位置的所述空腔内的所述接合膜形成有第二激光照射疵痕。

7.如权利要求6所述的压电振动器，其特征在于，所述第二激光照射疵痕形成在从所述基底基板的法线方向来看至少与所述振动腕部的前端部邻接的位置的所述接合膜。

8.一种振荡器，其特征在于：将权利要求5至7中任一项所述的压电振动器作为振子电连接至集成电路。

9.一种电子设备，其特征在于：使权利要求5至7中任一项所述的压电振动器与计时部电连接。

10.一种电波钟，其特征在于：使权利要求5至7中任一项所述的压电振动器与滤波部电连接。