[发明专利]电压振动器的制造方法、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟

说明书

技术领域

本发明涉及在接合的两块基板之间形成的空腔内密封了压电振动片的表面安装型(SMD)的压电振动器、压电振动器的制造方法、具有压电振动器的振荡器、电子设备及电波钟。

背景技术

近年来，在便携电话或便携信息终端设备上，采用利用由水晶等的压电材料构成的压电振动片作为时刻源或控制信号的定时源、参考信号源等的压电振动器。作为压电振动片，采用具备一对振动腕部的音叉型压电振动片。

作为这种压电振动器，众所周知表面安装型(SMD：Surface Mount Device)的压电振动器。

如图14及图15所示，作为表面安装型的压电振动器200，提出用基底基板201和盖基板202形成组装件(package)209，并在组装件209的内部形成的空腔C收容压电振动片203的压电振动器。基底基板201和盖基板202通过在两者间配置接合膜207而进行阳极接合来接合。

可是，压电振动器一般要求抑制等效电阻值(有效电阻值，Re)为低值。等效电阻值低的压电振动器可以用低电力来使压电振动片振动，因此成为能量效率良好的压电振动器。

作为抑制等效电阻值的一般的方法之一，众所周知如图14及图15所示那样使密封压电振动片203的空腔C内接近真空，从而降低与等效电阻值有比例关系的串联谐振电阻值(R1)的方法。再者，作为使空腔C内接近真空的方法，众所周知包括在空腔C内密封由铝等构成的吸气材料220，并从外部照射激光而将该吸气材料220激活的吸气工序的方法(参照下述专利文献1)。依据该方法，通过成为激活状态的吸气材料220，能够吸收阳极接合时发生的氧，因此能够使空腔C内接近真空。

此外一般在吸气工序后，对形成在振动腕部210的前端部的重锤金属膜211照射激光，并调整(trimming)重锤金属膜211而进行压电振动片203的频率的微调(微调工序)。通过进行该微调工序，能够将压电振动片203的频率收缩在标称频率的范围内。

专利文献1：日本特开2003-142976号公报

但是，所述传统压电振动器的制造方法中，在吸气工序后进行微调工序，并且分别进行空腔内的真空度调整和压电振动片的频率调整，因此要花费时间且效率差。此外，形成吸气所需要的吸气材料时也花费时间，其效率更差。

发明内容

本发明鉴于上述状况构思而成，其目的在于提供能够有效率地制造的压电振动器的制造方法及压电振动器。

本发明为了解决上述课题提供以下的方案。

本发明的压电振动器的制造方法，其特征在于，所述压电振动器包括：基底基板及盖基板，以在该基底基板与盖基板之间形成空腔的方式叠合；压电振动片，收容于所述空腔内并与所述基底基板一侧接合；以及接合膜，形成所述盖基板中朝向所述基底基板一侧的整个面，并在与所述基底基板接触的部分接合两基板，所述压电振动片具备一对振动腕部和形成在所述振动腕部的前端部的重锤金属膜，在该压电振动器的制造方法中，所述接合膜用通过照射激光来激活而可吸附周围气体的材料形成，并且具备对所述重锤金属膜及所述接合膜同时照射激光的激光照射工序。

依据本发明，由于接合膜用通过照射激光来激活而可吸附周围气体的材料形成，通过对接合膜照射激光来吸气，从而能提高空腔内的真空度。因而，在进行激光照射工序时，通过对重锤金属膜及接合膜同时照射激光，调整重锤金属膜而调整压电振动片的频率，能够使接合膜吸气而提高空腔内的真空度。

此外，接合膜用通过照射激光来激活而可吸附周围气体的材料形成，因此无需另一途径形成吸气材料。

由以上的方案，可以有效率地制造，并能谋求压电振动器的低成本化。

此外，也可以具备对从所述基底基板的法线方向来看不与所述重锤金属膜重叠的位置的所述空腔内的所述接合膜照射激光的预备吸气工序。

这时，由于具备预备吸气工序，通过在激光照射工序时使接合膜吸气来提高空腔内的真空度的情形相结合，能够进一步提高空腔内的真空度。

此外，在所述激光照射工序前进行所述预备吸气工序也可。

这时，由于在激光照射工序前进行预备吸气工序，与在激光照射工序后进行预备吸气工序的情形相比，能够高精度地调整压电振动片的频率。