[发明专利]一种离子注入机的低能注入模式切换器制造方法无效
| 申请号： | 201010243467.0 | 申请日： | 2010-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN102522302A | 公开（公告）日： | 2012-06-27 |
| 发明（设计）人： | 唐景庭;伍三忠;孙勇;李涛 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/302;H01J37/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市中关村科*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种离子注入机的低能注入模式切换器制造方法包括：制成一个长行程绝缘单作用式气缸，低能电源一端与低能注入模式切换器相连，活塞与切换器另一端用钢丝连接，利用活塞控制电路导通或断开，从而达到切换低能注入模式的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 注入 低能 模式 切换 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种低能注入模式切换器的制造方法，所述低能注入模式切换器利用气动控制电路开关，其特征在于：控制器外壳由绝缘材料制作，内部为金属导体材料，通过气动导通或断开电路。
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