[发明专利]一种离子注入机的低能注入模式切换器制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及低能注入模式切换器的制造方法。进一步地，本发明涉及简单而且经济的气缸制造方法。属于半导体器件制造装备领域。 

背景技术

在离子注入工艺中，根据注入元素的不同，要求的电离能量也是差距极大，尤其在在四方位注入中，靶台上待注人的晶片自转45°注入一次，既要保证注入质量，还要尽可能高效率就成了必须解决的问题。由于是能量转换，安全因素必须考虑，离子注入工艺中通常要加几十-几百kv电压，所以用气动控制器来调节能量是最安全的方法。根据能量要求，只需控制线路开关来启动或关闭低能电源，从而达到电离不同元素的目的。 

发明内容

本发明公开一种简单、经济的低能注入模式切换器的制造方法。 

一种低能注入模式切换器的制造方法包括：一个绝缘桶，两端用金属盖封闭，由密封圈密封。其中一个金属盖装有收线器并且开有送气口，收线器和活塞杆由钢丝相连，另一个金属盖通过螺纹与切换器上盖相连。由送气口充气时，活塞升到上盖一端，停止送气后由收线器把活塞拉回到下盖一端，从而达到控制线路闭合和导通的目的。 

附图说明

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步介绍，但不作为对本发明专利的限定。 

图1是滑动密封组件示意图。 

图2是三维滑动密封组件剖视图。 

图3是三维组件顶端局部放大视图。 

具体实施方式

图1是滑动密封组件示意图，部件包括：顶盖1，连接端2，弹簧3，挡柱 4，上盖5，切换器桶6，活塞7，活塞杆8，钢丝9，下盖10，收线器11，磁铁12，磁力开关13. 

所述顶盖1使用绝缘材料PP，顶盖1与连接端2用螺钉连接。 

所述连接端2内开有内腔，弹簧3一端与连接端2内腔相连，另外一端与挡柱4相连，起对活塞7缓冲作用。 

所述连接端2与上盖5螺纹连接，上盖5开有放气口。 

所述上盖5与切换器桶6用螺钉连接，上盖5与切换器桶6之间装有O型密封圈。 

所述切换器桶6内装有活塞7，切换器桶6材料为PP，活塞7材料为PDEF，以保证绝缘性能和耐磨，抗压性能。 

所述活塞7通过活塞杆8和钢丝9与收线器11相连。 

所述收线器11用于使活塞7在切换器停止供气时更快的回到下盖一端。 

所述收线器11与下盖10用轴间螺钉相连。下盖10开有送气口，用于控制活塞位置。 

所述下盖10与切换器桶6用螺钉连接，下盖10与切换器桶6之间装有O型密封圈。 

所述活塞7上装有磁铁12，通过磁性开关13确定活塞7位置。 

以上所述已对本发明的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。