[发明专利]层间介质层、具有该介质层的半导体器件及制造方法有效
| 申请号： | 201010215116.9 | 申请日： | 2010-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN102299095A | 公开（公告）日： | 2011-12-28 |
| 发明（设计）人： | 钟汇才;梁擎擎 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H01L21/768 | 分类号： | H01L21/768;H01L23/528;H01L23/532 |
| 代理公司： | 北京市立方律师事务所 11330 | 代理人： | 马佑平 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了用于半导体器件的层间介质层及其制造方法以及具有该层间介质层的半导体器件，所述方法在介质层内形成不互相连通的孔洞，所述孔洞内可填充具有更低介电常数的多孔低k介质材料，或者仅封住孔洞的上部以在介质层内形成孔。这种结构的层间介质层，具有更低的介电常数，减小了器件的RC延迟，也更便于工艺集成，而且由于介质层内的孔洞并未相互连接，不会造成介质材料介电常数的改变以及导线间的短路，使器件具有更好的稳定性和可靠性，从而提高了器件的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 介质 具有 半导体器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种用于半导体器件的层间介质层的制造方法，所述方法包括：A、提供半导体衬底及在其上形成的预定器件；B、在所述预定器件上形成介质层；C、在所述介质层内形成多个孔洞，所述孔洞未穿通所述介质层；D、填充所述孔洞形成孔介质层，所述孔介质层的上表面与介质层上表面基本相平。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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