[发明专利]一种玻璃衬底绒面结构ZnO薄膜及应用

摘要

一种玻璃衬底绒面结构ZnO薄膜，利用磁控溅射技术制备，以玻璃为衬底，以Zn-Al合金靶和O2为原材料，以Al为掺杂剂，在真空条件下进行磁控溅射，在玻璃衬底上直接生长绒面结构ZnO薄膜，薄膜厚度(900～1500)nm，薄膜结构为glass/绒面ZnO薄膜，应用于pin型a-Si薄膜太阳电池或a-Si/uc-Si叠层薄膜太阳电池。本发明的优点是：利用磁控溅射技术，镀膜温度相对低，生长速率快，有利于大面积生长；无需后续湿法刻蚀技术制绒，可直接生长获得粗糙表面的绒面结构ZnO-TCO薄膜，有利于增加光散射作用；应用于pin型a-Si薄膜太阳电池，光电转换效率高。

主权项

一种玻璃衬底绒面结构ZnO薄膜，其特征在于：利用磁控溅射技术制备，以玻璃为衬底，衬底温度为(200～280)℃，以Zn-Al合金靶和O2为原材料，其中Zn组分纯度为99.99％，掺杂剂Al组分的重量百分比含量为(0.5～3.0)％，背景真空度为8×10-5Pa，溅射气压为(2.5～7.5)mTorr，其中氧气流量为2～30sccm，在玻璃衬底上直接生长绒面结构ZnO薄膜，薄膜厚度(900～1500)nm，薄膜结构为glass/绒面ZnO薄膜。