[发明专利]一种离子注入机机械臂装卸托盘

摘要

本发明提供了一种离子注入机机械臂装卸托盘，包括底端托盘、中间托盘以及顶端托盘，所述底端托盘、中间托盘以及顶端托盘依次通过至少两根表面具有螺纹的丝杠连接；所述中间托盘可沿所述丝杠上下移动。本发明的装卸托盘可保证机械臂在拆装的过程中，不会受到损伤，同时确保在将机械臂安装于工艺腔上时不会有真空泄露的危险，确保在安装的过程中，机械臂能够在一定的轨道中进行安装并稳定的和工艺腔相结合。同时在本发明的装卸托盘的辅助下，拆装机械臂上的固定螺母时较为方便，总体的拆装过程可极大的节省拆装机械臂所需的人力和时间。

主权项

一种离子注入机机械臂装卸托盘，所述机械臂包括传送臂、托盘、传动装置和传动轴，所述托盘连接所述传送臂和传动装置，所述托盘通过固定螺母固定于离子注入机工艺腔的内腔壁上，所述固定螺母安装于离子注入机工艺腔的外腔壁上；所述传动装置的底端连接传动轴，其特征在于，包括底端托盘、中间托盘以及顶端托盘，所述底端托盘、中间托盘以及顶端托盘依次通过至少两根表面具有螺纹的丝杠连接；所述丝杠的两端分别固定于所述顶端托盘上和所述底端托盘上，所述丝杠穿过所述中间托盘，所述中间托盘可沿所述丝杠上下移动；所述中间托盘的中央具有第一中空孔，所述顶端托盘的中央具有第二中空孔，所述机械臂可通过所述第一中空孔和所述第二中空孔固定于所述顶端托盘和中间托盘之间；所述顶端托盘的四周设置有螺母套筒，所述螺母套筒包括螺母固定筒和驱动杆，所述螺母固定筒用于卡住所述固定螺母，所述驱动杆用于旋转所述螺母固定筒；所述螺母套筒的数量、形状大小和位置与所述固定螺母的数量、形状大小和位置相适应；所述螺母套筒的驱动杆位于所述顶端托盘面向中间托盘的底面，所述螺母固定筒的开口位于所述顶端托盘的另一面。