[发明专利]吸附检测解除方法、处理装置及计算机能读取的存储介质

摘要

本发明提供吸附检测解除方法、处理装置及计算机能读取的存储介质。该吸附检测解除方法在减小基板破损的可能性的同时、检测基板是否吸附在载置台上并解除该吸附。该吸附检测解除方法包括以下工序：以规定的吸附判定压力自载置台的载置面向被处理体的背面供给流体(步骤2)；检测自以吸附判定压力开始供给流体起经过了规定的吸附判定时间时流体的流量；判定在该工序中检测出的流体的流量是否为规定的吸附判定流量以下(工序3)；根据该工序中的判定结果，在流体的流量为吸附判定流量以下的情况下，使向被处理体的背面供给流体的压力为比吸附判定压力高的吸附解除压力(步骤7)。

主权项

一种吸附检测解除方法，该吸附检测解除方法在使上述被处理体脱离载置被处理体的载置台之前检测上述被处理体是否吸附在上述载置台上，在吸附着的情况下解除吸附，其特征在于，包括以下工序：(1)以规定的吸附判定压力自上述载置台的载置面向上述被处理体的背面供给流体；(2)检测从以上述吸附判定压力开始供给流体起经过了规定的吸附判定时间时的上述流体的流量；(3)判定在上述(2)工序中检测出的上述流体的流量是否为规定的吸附判定流量以下；(4)根据上述(3)工序中的判定结果，在上述流体的流量为上述吸附判定流量以下的情况下，使向上述被处理体的背面供给流体的压力为比上述吸附判定压力高的吸附解除压力。