[发明专利]一种掺杂氧化锌纳米粉体的制备方法

摘要

本发明公开了一种掺杂氧化锌纳米粉体的制备方法，包括：将掺杂金属盐和锌盐溶解到水中形成盐溶液；在强烈搅拌下，将盐溶液以均匀地滴加至沉淀剂水溶液中，滴加过程中保持混合体系的pH值为5～10，温度10℃～80℃，获得共沉淀产物，陈化10h～30h后，沉淀物依次用去离子水和无水乙醇洗涤后干燥，得到白色产物，在400℃～800℃煅烧1h～5h，制得掺杂氧化锌纳米粉体。该方法成本低、所用设备简单、易于大规模工业化生产，制备的掺杂氧化锌粉体分布均匀、纯度高且无不导电的第二相，可以用于制备高质量的氧化锌基溅射靶材。

主权项

一种掺杂氧化锌纳米粉体的制备方法，包括步骤：(1)将掺杂金属盐和锌盐溶解到去离子水中形成盐总浓度为0.5mol/L～3mol/L的盐溶液，其中，掺杂金属盐中的金属离子与锌盐中的锌离子的摩尔比小于等于0.18∶1；(2)将沉淀剂溶解到去离子水中形成1mol/L～6mol/L的沉淀剂溶液；(3)在转速为400转/分钟～800转/分钟的强烈搅拌下，将步骤(1)中配制的盐溶液以5mL/min～50mL/min的速度均匀地滴加至步骤(2)配制的沉淀剂溶液中，滴加过程中保持混合体系的pH值为5～10，温度10℃～80℃，获得共沉淀产物；(4)将上述共沉淀产物陈化10h～30h后，沉淀物依次用去离子水和无水乙醇洗涤后干燥，得到白色产物；(5)将上述白色产物在400℃～800℃煅烧1h～5h，制得掺杂氧化锌纳米粉体；所述的掺杂金属盐为铝盐、镓盐、铟盐、锡盐、硼盐、铬盐、钒盐中的一种或多种。