[发明专利]制造气体夹杂物缺陷减少的化学机械抛光垫抛光层的方法有效
| 申请号： | 201010165157.1 | 申请日： | 2010-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN101870093A | 公开（公告）日： | 2010-10-27 |
| 发明（设计）人： | J·埃斯本谢德;A·M·杰格;P·利伯斯;S·J·诺凡伯;P·J·萨凯蒂;J·特雷西;D·弗巴罗;M·E·沃特金斯 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司 |
| 主分类号： | B24D18/00 | 分类号： | B24D18/00;B24D3/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋;周承泽 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种用来制造化学机械抛光垫抛光层的方法，该方法将夹带的气体夹杂物缺陷减至最少。本发明还提供了一种用来制造化学机械抛光垫抛光层的混合头组件，其中将夹带的气体夹杂物缺陷减至最少。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 气体 夹杂 缺陷 减少 化学 机械抛光 抛光 方法 | ||
【主权项】：
一种用来形成化学机械抛光垫抛光层的方法，所述方法包括：提供模具；提供液体预聚物材料；提供处于惰性载气中的大量微球体；提供惰性吹扫气体；提供混合头组件，该组件包括外壳，所述外壳具有至少一个外壳入口、一个外壳出口，旋转混合器，该旋转混合器包括延伸到外壳以外的轴；所述轴具有从中通过的通道，所述通道具有轴通道入口和轴通道出口，以便于所述惰性载气和惰性吹扫气体从外壳排出；在所述旋转混合器的作用下，在所述外壳中将所述液体预聚物材料与处于惰性载气中的大量微球体混合，形成液体预聚物和微球体的混合物；将所述惰性吹扫气体送入外壳；通过所述轴通道将惰性载气和惰性吹扫气体从外壳排出；通过外壳出口将所述液体预聚物与微球体的混合物转移到模具；使所述液体预聚物和微球体的混合物在模具中固化，形成饼状物；由所述饼状物得到化学机械抛光垫抛光层。
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