[发明专利]制造气体夹杂物缺陷减少的化学机械抛光垫抛光层的方法

权利要求书

1.一种用来形成化学机械抛光垫抛光层的方法，所述方法包括：

提供模具；

提供液体预聚物材料；

提供处于惰性载气中的大量微球体；

提供惰性吹扫气体；

提供混合头组件，该组件包括外壳，所述外壳具有至少一个外壳入口、一个外壳出口，旋转混合器，该旋转混合器包括延伸到外壳以外的轴；所述轴具有从中通过的通道，所述通道具有轴通道入口和轴通道出口，以便于所述惰性载气和惰性吹扫气体从外壳排出；

在所述旋转混合器的作用下，在所述外壳中将所述液体预聚物材料与处于惰性载气中的大量微球体混合，形成液体预聚物和微球体的混合物；

将所述惰性吹扫气体送入外壳；

通过所述轴通道将惰性载气和惰性吹扫气体从外壳排出；

通过外壳出口将所述液体预聚物与微球体的混合物转移到模具；

使所述液体预聚物和微球体的混合物在模具中固化，形成饼状物；

由所述饼状物得到化学机械抛光垫抛光层。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述液体预聚物材料包括含多异氰酸酯的材料。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述液体预聚物材料还包含固化剂。

4.如权利要求1所述的方法，该方法还包括：

提供迷宫式密封件，所述迷宫式密封件与所述外壳邻接，所述轴延伸通过所述迷宫式密封件；

通过所述迷宫式密封件将所述惰性吹扫气体送入所述外壳中。

5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述迷宫式密封件是径向迷宫式密封件。

6.如权利要求1所述的方法，该方法还包括：

将所述饼状物切割成多个化学机械抛光垫抛光层。

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述饼状物与采用相同方法但是不提供惰性吹扫气体的情况下制得的饼状物相比，前者包含较少的夹带的气体夹杂物缺陷。

8.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述惰性载气是二氧化碳。

9.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述惰性吹扫气体是二氧化碳。

10.一种用来形成化学机械抛光垫抛光层的混合头组件，所述组件包括：

混合头组件外壳，其包括外壳入口和外壳出口；

安装于所述外壳的迷宫式密封件，所述迷宫式密封件包括：

密封块，其包括惰性吹扫气体入口和气体出口；

装配在所述密封块上的接合定子；

介于所述密封块和接合定子之间的接合定子O形环，所述接合定子O形环将所述接合定子固定于密封块；

旋转混合器，该混合器包括轴，所述轴具有轴通道，所述轴通道具有位于外壳之内的通道入口，以及与所述密封块气体出口气流连通的通道出口；

装配在轴上的转子，所述转子与接合定子相接合；

介于所述转子和轴之间的转子O形环，所述转子O形环将所述转子固定于轴；

第一轴承，其包括第一轴承外座圈，第一轴承内座圈，以及介于第一轴承外座圈和第一轴承内座圈之间的多个第一轴承滚珠；

第二轴承，其包括第二轴承外座圈，第二轴承内座圈，以及介于第二轴承外座圈和第二轴承内座圈之间的多个第二轴承滚珠；

装配在轴上的轴套；

介于轴套和轴之间的轴O形环，所述轴O形环将轴套固定于轴；

轴承螺母；

轴承隔离圈；

液体预聚物材料；

大量微球体；以及

惰性气体；

所述第一轴承外座圈压在密封块和接合定子之间，第二轴承外座圈压在密封块上，第二轴承内座圈压在轴承螺母和轴承隔离圈之间，第一轴承内座圈压在轴承隔离圈和转子之间，使得所述旋转混合器可以相对于密封块旋转；以及

其中，所述液体预聚物材料、大量微球体以及惰性气体在外壳内处理。