[发明专利]感光性组合物、感光性树脂转印薄膜和树脂图案有效
申请号: | 201010144891.X | 申请日: | 2010-03-29 |
公开(公告)号: | CN101852990A | 公开(公告)日: | 2010-10-06 |
发明(设计)人: | 后藤英范;山崎健太;吉成伸一;下村彰宏;柏木大助 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
主分类号: | G03F7/027 | 分类号: | G03F7/027;G03F7/00;G03F7/16;G02F1/1333 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 朱丹 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种用于制作能够耐得住频率高的振动的树脂图案的感光性组合物。本发明的感光性组合物的特征在于,至少含有在侧链具有酸性基的树脂(A)、至少含有化合物B1及化合物B2的聚合性化合物(B)及光聚合引发剂(C)、化合物B1及化合物B2的相对聚合性化合物(B)的合计量的含有率W1及W2同时满足式(1)及式(2)。0.6≤W2/W1≤3.0 ····(1)63%≤W1+W2≤100% ····(2)化合物B1(X表示氢或H2C=CR-CO-,分子中的X的至少4个表示H2C=CR-CO-。R表示氢或碳数1~4的烃基。)化合物B2(X表示氢或H2C=CR-CO-,分子中的X的至少6个表示H2C=CR-CO-。R表示氢或碳数1~4的烃基。)。 | ||
搜索关键词: | 感光性 组合 树脂 薄膜 图案 | ||
【主权项】:
1.一种感光性组合物,其特征在于,至少含有在侧链具有酸性基的树脂(A)、至少含有下述化合物B1及化合物B2的聚合性化合物(B)及光聚合引发剂(C),相对聚合性化合物(B)的合计量的该化合物B1及化合物B2的含有率W1质量%及W2质量%同时满足下述式(1)及式(2),0.6≤W2/W1≤3.0 ....(1)63%≤W1+W2≤100% ....(2)化合物B1:
其中,X表示氢原子或H2C=CR-CO-,分子中的X的至少4个表示H2C=CR-CO-,R表示氢原子或碳数1~4的烃基,化合物B2:
其中,X表示氢原子或H2C=CR-CO-,分子中的X的至少6个表示H2C=CR-CO-,R表示氢原子或碳数1~4的烃基。
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