[发明专利]混合型微机电装置有效
| 申请号： | 201010132761.4 | 申请日： | 2010-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN102169249A | 公开（公告）日： | 2011-08-31 |
| 发明（设计）人： | 白虹;张彪 | 申请（专利权）人： | 白虹;张彪 |
| 主分类号： | G02F1/1333 | 分类号： | G02F1/1333;G02F1/133;B81B7/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100038 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种混合型MEMS装置，其包括不同类型的MEMS单元，其中所述各MEMS单元组装在一起并在功能上相互关联，使得各MEMS单元基于不同类型的MEMS单元的输出而操作。 | ||
| 搜索关键词： | 混合 微机 装置 | ||
【主权项】：
一种装置，包括：透明的微电容超声器，其包括：第一电极，该第一电极对可见光是透明的并能够产生机械变形；第二电极，该第二电极对可见光是透明的；并且在该第一电极和第二电极之间具有一定间隔，使得在施加在第一大电极和第二电极之间的电场的作用下该第一电极能够变形。
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