[发明专利]混合型微机电装置

权利要求书

1.一种装置，包括：

透明的微电容超声器，其包括：

第一电极，该第一电极对可见光是透明的并能够产生机械变形；

第二电极，该第二电极对可见光是透明的；并且

在该第一电极和第二电极之间具有一定间隔，使得在施加在第一大电极和第二电极之间的电场的作用下该第一电极能够变形。

2.如权利要求1所述，组装到所述透明微电容超声器上的光阀。

3.如权利要求2中所述光阀包括手性材料。

4.如权利要求2中所述微电容超声器包括一个介电结构，该介电结构显示出近似为一的介电常数。

5.如权利要求2中所述混合单元阵列包括不同MEMS单元的第一和第二单元层。

6.一种微机电装置，包括：

第一类型的第一MEMS装置；

第二类型的第二MEMS装置；其中该第二MEMS装置组装到该第一MEMS装置上；以及

信号环路，其将所述第一MEMS装置的输出端连接到第二MEMS装置的输入端，使得第二MEMS装置的操作状态由该第一MEMS装置的输出信号决定。

7.如权利要求6所述的装置的阵列。

8.一种方法，包括：

提供一种MEMS装置，该MEMS装置包括微声学收发器和安装到该声学收发器上的光阀；

使用该声学收发器探测不可视目标，其中该目标被一个表面遮挡住；

基于对该不可视目标的探测产生控制信号；以及

将该控制信号发送到光阀以操作该光阀。

9.如权利要求8在一个显示标的物上利用光阀产生一个可见光图像。该可见光图像位于在观察方向与所述不可视目标重叠的位置。该可见光图像对应于不可视目标。

10.如权利要求9，包含：

在生成的可见光图像中选择一个区域，该区域对应于不可视目标的一个特定区域；

利用与缩选择区域对应的一个或者多个微超声收发器产生具有特定频率的超声波，照射不可视目标的特定区域，从而改变该特定区域的性质。