[发明专利]电容MEMS麦克风无效
| 申请号： | 201010119951.2 | 申请日： | 2010-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN101841758A | 公开（公告）日： | 2010-09-22 |
| 发明（设计）人： | 李海锋;张睿 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技(深圳)有限公司;瑞声微电子科技(常州)有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及微型麦克风领域，具体指一种应用于电子设备上，具有更加灵敏度的电容MEMS(micro-electro-mechanicalsy stem)麦克风，在基底上与背板相对构成电容系统的振膜单元，由处于中央位置的内膜和围绕内膜外周侧的环形外膜构成，内膜与外膜分别向外衍生延伸出第一电极、第二电极，电连接在基底上，以减小振膜周边缘的约束，可以有效提高灵敏度；同时本结构振膜结构，减少对电极的需求，有利于节省更多的空间，测量结果优于周边固定电容式麦克风。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 mems 麦克风 | ||
【主权项】：
一种电容MEMS麦克风，包括一中心有贯穿孔的基底、基底上设有带有导气孔的背板、与背板相对设有振膜单元，所述振摸单元与背板构成电容系统，其特征在于：所述振膜单元包括处于中央位置的内膜和围绕内膜外周侧的环形外膜，内膜与外膜分别向外衍生延伸出第一电极、第二电极，电连接在基底上。
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