[发明专利]大流量全半导体新型尘埃粒子计数器的光学传感器

摘要

本发明公开了一种大流量全半导体新型尘埃粒子计数器的光学传感器，在半导体激光光源发出的光束前进的方向上，依次设有非球面镜、入射光阑、出射光阑和光陷阱，与光路垂直方向上设置球面反射镜、光阑、光电探测器，光敏感区和光电探测器光敏面的位置分别位于该球面反射镜球心的两侧，并满足几何光学的物像关系，光源采用大功率半导体激光光源，光电探测器采用光电二极管，增益可调前置放大电路置于光电探测器后面的外壳上。本发明提高了计数效率，增加了仪器的计数效率和粒径分辨率；仪器使用寿命长，仪器间互换性好；并且功耗低，价格低廉，体积小利于整机的微型化发展。

主权项

一种大流量全半导体新型尘埃粒子计数器的光学传感器，包括光源[1]、非球面镜[2]、第一入射光阑[3]、第二入射光阑[4]、球面反射镜[6]、出射光阑[7]、光陷阱[8]、光阑[9]和光电探测器[10]，在半导体激光光源[1]发出的光束前进的方向上，依次设有非球面镜[2]、第一入射光阑[3]、第二入射光阑[4]、出射光阑[7]和光陷阱[8]，与光路垂直方向上设置球面反射镜[6]、光阑[9]、光电探测器[10]，光敏感区[5]和光电探测器[10]光敏面的位置分别位于该球面反射镜[6]球心的两侧，并满足几何光学的物像关系，光阑[9]置于光电探测器[10]的前面，采样气路由采样气嘴[13]、出气嘴[14]组成，两者相对于光敏感区[5]对称设置；其特征在于：光源[1]采用大于等于100mW的大功率半导体激光光源，光阑[9]的视窗和光电探测器[10]的尺寸相同，增益可调前置放大电路[11]置于光电探测器[10]后面的外壳上；光电探测器[10]采用高灵敏度光电二极管。