[发明专利]具有无限驱动介质的搬送系统、其搬运器的识别方法以及搬运器有效
申请号: | 200980158761.7 | 申请日: | 2009-06-02 |
公开(公告)号: | CN102405519A | 公开(公告)日: | 2012-04-04 |
发明(设计)人: | 木股友也 | 申请(专利权)人: | 村田机械株式会社 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 庞乃媛;黄剑锋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明在环形带上安装多个搬运器并使之环行,搬运器用于保持并搬送半导体存储盒等,并且具有搬运器识别用的被识别部。设置多个站,该站具有与搬运器之间交接物品的机械手、沿着传送带的环行方向在机械手的上游侧的规定位置检测被识别部的传感器。根据传感器的信号,识别搬运器,并且识别搬运器在规定位置出现了的情况,使机械手相对于期望的搬运器动作。通过用于检测搬运器的位置的传感器,能够识别搬运器。 | ||
搜索关键词: | 具有 无限 驱动 介质 系统 搬运 识别 方法 以及 | ||
【主权项】:
一种搬送系统,设置有:无限驱动介质,进行环行动作;多个搬运器,该搬运器被安装于所述无限驱动介质,保持并搬送物品,并且具有搬运器识别用的被识别部;以及多个站,该多个站具有:机械手,与所述搬运器之间交接物品;以及传感器,通过沿着无限驱动介质的环行方向在机械手的上游侧的规定位置检测所述被识别部,来输出搬运器的检测信号和搬运器的识别信号。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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