[发明专利]可旋转溅射靶材座、可旋转溅射靶材、涂覆设备、制造可旋转溅射靶材的方法、靶材座连接装置、以及将用于溅射设备的可旋转溅射靶材座装置连接至靶材座支撑件的方法无效
| 申请号： | 200980152602.6 | 申请日： | 2009-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN102265376A | 公开（公告）日： | 2011-11-30 |
| 发明（设计）人： | 洛塔尔·利帕特;奥利弗·海默尔 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/34 | 分类号： | H01J37/34;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;钟强 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种用于溅射设备的可旋转靶材座装置，其中该靶材座装置适于在该靶材座装置上接收实体靶材圆柱，该可旋转靶材座装置包含：靶材座圆柱(4)，该靶材座圆柱(4)具有侧面(3)、中间部(12)、第一末端区(7)及与该第一末端区相对的第二末端区(9)，其中该第一末端区及该第二末端区至少之一具有基本上等于或小于该中间部的外径的最大外径。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 溅射 靶材座 设备 制造 方法 连接 装置 以及 用于 至靶材座 支撑 | ||
【主权项】：
一种用于溅射设备的可旋转靶材座装置，其中该靶材座装置适于在该靶材座装置上接收实体靶材圆柱，该可旋转靶材座装置包含：靶材座圆柱，该靶材座圆柱具有侧面、中间部、第一末端区及与该第一末端区相对的第二末端区，其中该第一末端区及该第二末端区至少之一具有基本上等于或小于该中间部的外径的最大外径，该可旋转靶材座装置进一步包含至少一个靶材座连接装置，该至少一个靶材座连接装置适于将该靶材座圆柱连接至靶材座支撑件，且该至少一个靶材座连接装置可移除，其中该至少一个靶材座连接装置包含：固定接头；以及设于该靶材座圆柱中的固定凹槽，该固定接头适于至少部分地填充该固定凹槽，并且其中该固定接头包含固定轴环，该固定轴环具有内螺纹，该内螺纹与在该固定凹槽中设置的外螺纹相对应，其中该固定凹槽设于该靶材座圆柱的末端处。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料股份有限公司，未经应用材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200980152602.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
