[发明专利]具有可调节截止波长的高工作温度势垒红外检测器

摘要

本发明描述了一种具有吸收材料的势垒红外检测器及其制造方法，该吸收材料具有可选择的截止波长。使GaInAsSb吸收层在GaSb衬底层上生长，该衬底层由按照吸收混合比混合GaSb和InAsSb形成。然后，GaAlAsSb势垒层在按照势垒混合比混合GaSb和AlSbAs形成的势垒层上生长。选择吸收混合比以调节吸收层的带隙，从而确定用于势垒红外检测器的截止波长。吸收混合比可以沿吸收层生长方向改变。可以使用各种接触层结构。此外，可以将顶部接触层分隔成元件阵列，这些元件阵列被电隔离成可用于检测器阵列、成像阵列、焦平面阵列的单独的功能检测器。

主权项

一种势垒红外检测器装置，包括：衬底层，所述衬底层包括衬底GaSb；吸收层，所述吸收层与所述衬底层基本晶格匹配，并且所述吸收层包括按照在InAsSb和吸收GaSb之间的吸收混合比混合吸收GaSb和InAsSb而形成的GaInAsSb；势垒层，所述势垒层设置在所述吸收层上，并且所述吸收层包括按照在AlSbAs和势垒GaSb之间的势垒混合比混合势垒GaSb和AlSbAs而形成的GaAlAsSb。