[发明专利]在影像感应器与光电接合中改善暗电流与降低缺陷

摘要

在感光装置的制造期间，通过已改善的物种的植入来降低感光装置内的暗电流。暗电流可经由光二极管装置中的缺陷来引起，或于制造期间使用退火、植入或其他制程步骤来引起。经由非晶化光二极管范围中的工作部件，可消除大量的缺陷，从而消除此暗电流的原因。暗电流也可经由相邻STI所感应的应力来引起，其中衬与填充材料所产生的应力会加重工作部件中的缺陷。经由非晶化沟渠的侧壁与底部表面，可消除于蚀刻期间所产生的缺陷。此缺陷中的降低也可减少感光装置中的暗电流。

主权项

一种于工作部件上降低感光装置中的暗电流的方法，包括：蚀刻该工作部件中的一浅沟渠，该沟渠包括多个侧壁与一底部表面；执行一氧化或氮化步骤来产生该沟渠的该些侧壁与该底部表面的一层；非晶化该沟渠的该些侧壁与该底部表面；以材料填满该沟渠；以及相邻该沟渠形成该感光装置。